GDQ-Z型高真空气动直通挡板阀(KF/CF/ISO法兰系列)
产品型号
10KF/CF、16KF/CF、25KF/CF、40KF/CF、50KF/CF、63KF/CF/ISO、80KF/CF/ISO、100KF/CF/ISO
GDQ-Z型高真空气动直通挡板阀采用直通式流道设计,介质流通阻力小,结构紧凑。以洁净压缩空气为动力,通过电磁换向阀控制气缸活塞做轴向运动,实现阀门快速启闭。断电或气源切断时,阀门在弹簧力作用下自动复位,安全可靠。提供KF快卸法兰、CF及ISO三种连接形式,可选配磁性开关或微动开关,支持远程自动化控制。阀体采用304不锈钢,波纹管阀芯采用316L不锈钢,密封性能优异,使用寿命长。
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技术规格
适用范围:1×10⁻⁵ Pa ~ 1.2×10⁵ Pa(氟胶圈密封);1×10⁻⁶ Pa ~ 1.2×10⁵ Pa(波纹管密封)
阀门漏率:≤ 1.3×10⁻¹⁰ Pa·m³·s⁻¹
工作温度:-30°C ~ 150°C(氟橡胶密封);-25°C ~ 80°C(丁腈橡胶密封)
气源压力:0.4~0.7 MPa
开启时间:≤ 3 s
电源电压:AC 220V / 50Hz(标准);AC 110V / AC 24V / DC 24V / DC 12V 可定制
信号反馈:标准不带反馈;可选磁性开关 DC/AC 5~240V
阀体材质:304不锈钢;波纹管阀芯 316L不锈钢;气缸/轴封 6061铝合金
适用场景
适用于真空镀膜(蒸发/溅射)、半导体制程(刻蚀/沉积)、科研仪器(同步辐射、表面分析、空间模拟)、航空航天高空模拟及光伏产业等领域的真空管路通断控制。特殊要求可定制、可按图加工。
