电极法兰是真空系统中用于实现电气信号或电源在真空与大气之间可靠传输的密封馈通元件，在保持系统高真空密封性的同时，将外部电源或控制信号引入腔体内部，用于驱动腔内加热器、传感器、电机或其他电气设备。产品采用304不锈钢法兰体配合高纯陶瓷或玻璃绝缘密封，绝缘性能优良，耐高压，耐高温，可承受烘烤除气处理。符合CF、KF、ISO、LF国际标准，密封可靠，漏率极低，适用于高真空及超高真空系统。广泛应用于半导体制造、真空镀膜、科学研究、粒子加速器及各类需要真空内电气馈通的场合。特殊规格及针脚数量支持定制加工。