CD-J型全金属超高真空手动挡板阀(CF法兰系列)

产品型号
CD-J16(CF)/ CD-J25(CF)/ CD-J40(CF)/ CD-J50(CF)
CD-J型CF法兰系列全金属超高真空手动挡板阀(又名角阀)专为超高真空(UHV,压力低于10⁻⁷ Pa)及极高真空(XHV)环境设计,用于真空系统管路通断控制与气体隔离。阀体、阀芯及密封件全部采用金属材料,完全摒弃弹性体密封元件,从根本上消除高温、辐射等极端环境下的性能退化隐患,具备极低出气率、优异的高温烘烤性能及出色的抗辐射、耐腐蚀能力。手动驱动结构简单,可靠性高,循环寿命≥20000次,是低频操作、高可靠性超高真空应用场合的理想选择。
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技术规格

适用范围:1×10⁻¹⁰ Pa ~ 1×10⁻⁵ Pa;最高可承受正压 2×10⁵ Pa 阀门漏率:≤ 1×10⁻⁷ Pa·m³·s⁻¹(常规);≤ 1×10⁻¹⁰ Pa·m³·s⁻¹(超高真空应用) 工作温度:-250°C ~ 400°C(取决于具体型号) 烘烤温度:开启状态 400°C~450°C;关闭状态 300°C~350°C 密封材料:无氧铜(OFHC)垫圈 / 不锈钢密封件 阀体材质:304不锈钢 / 316L不锈钢 最大压差:阀板受压侧 ≤ 0.2 MPa;阀板开启位置 ≤ 0.1 MPa 循环寿命:≥ 20000 次 安装方式:任意方向

适用场景

适用于半导体制造、粒子加速器、表面科学分析(同步辐射、LEED/ESCA等)、工业镀膜等对真空洁净度要求极高的超高真空系统管路控制。特殊要求可定制、可按图加工。