CDQ-J型CF法兰系列超高真空气动挡板阀（又名角阀）以压缩空气为动力，通过电磁换向阀控制气缸活塞上下运动，带动阀板实现超高真空管路气流的快速接通与截止。采用CF金属密封法兰，适用于极低漏率要求的超高真空场合。阀体采用304不锈钢，阀芯采用316L不锈钢，气缸为6061铝合金，密封可靠，耐腐蚀，使用寿命超过20万次。另有CDQ-S型（带预抽口的三通型式）可选，满足更复杂的系统集成需求。广泛应用于太阳能光伏、半导体、微电子、航空航天及石油化工等行业。

适用范围：1.3×10⁻⁴ Pa ~ 1×10⁵ Pa（橡胶轴封）；1.3×10⁻⁶ Pa ~ 1×10⁵ Pa（波纹管轴封） 阀门漏率：≤ 1.3×10⁻⁸ Pa·m³·s⁻¹（橡胶轴封）；≤ 1.3×10⁻¹⁰ Pa·m³·s⁻¹（波纹管轴封） 工作温度：-30°C ~ 150°C（氟橡胶密封）；-25°C ~ 80°C（丁腈橡胶密封） 气源压力：0.4～0.8 MPa 电源电压：AC 220V / 50Hz（标准）；AC 110V / AC 24V / DC 24V / DC 12V 可定制 信号反馈：标准不带反馈；可选磁性开关 DC/AC 5～240V 阀体材质：304不锈钢（阀体）；316L不锈钢（阀芯）；6061铝合金（气缸） 使用寿命：> 200,000 次

适用于太阳能光伏、半导体、微电子设备、航空航天及石油化工等领域超高真空管路的自动通断控制。特殊要求可定制、可按图加工。