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GUQ型KF/ISO法兰系列高真空气动球阀以压缩空气为驱动动力，采用直通式球面密封结构，实现真空管路介质的自动化通断控制。执行器为齿轮齿条式气动结构，输出扭矩大，动作平稳可靠。提供双作用式（气源驱动开闭）与单作用式（弹簧复位，可选常开NO或常闭NC）两种规格。支持KF快卸法兰（GB/T 4982-2003）与ISO焊接法兰（GB/T 6070-2007）两种连接形式，可任意方向安装，适用于洁净及弱腐蚀性介质的真空系统。

阀门漏率：≤ 1.3×10⁻⁸ Pa·m³·s⁻¹ 适用温度：-25°C ~ 80°C（标准密封）；-30°C ~ 150°C（PPL密封） 适用压力：1.3×10⁻⁴ Pa ~ 0.1×10⁶ Pa（KF快卸法兰）；1.3×10⁻⁴ Pa ~ 1.6×10⁶ Pa（ISO焊接法兰） 气源压力：0.4～0.6 MPa 线圈电压：AC220V / DC24V 安装方式：任意方向

适用于需要自动化通断控制的真空系统管路，包括真空镀膜、半导体制造、科研设备及工业真空装置等领域。适用介质为洁净气体及非强腐蚀性介质，特殊要求可定制、可按图加工。